matériau | précurseurs | référence |
---|---|---|
Cu | (hexafluoroacétylacétonato)Cu(alcyne) | 37 |
Pt | ([eta]5-C5H4CH3)Pt(CH3)3 | 38 |
Al | H3AlN(CH3)2(C2H5)Al(iso-butyl)3 | 39 |
Au | (hexafluoroacétylacétonato)Au(CH3)2 | 40 |
SiC | organopolysilanes | 41 |
TiC | Ti(CH2-t-butyl)4 | 42 |
WC | ((t-butyl)CH2)3WCR (R: t-butyl, Si(CH3)3) | 43 |
BN | cyclo-(ClBNH)6 + ((CH3)3Si)2NH | 44 |